真空井式坩堝爐

本設備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或擴散半導體晶片，也可用于烘燒或燒結陶瓷材料。

型號 JZJL1200 JZJL1400 JZJL1700

工作溫度 ＞1200℃ ＞1400℃ ＞1700℃

加熱元件 電阻絲 硅碳棒 硅鉬棒

熱電偶 K型 S型 B型

控溫方式 30段可編程自動控制，PID調節(jié)控溫精度

大真空度 -0.1MPa

爐膛材料 陶瓷纖維板

爐殼 雙層爐殼，風冷結構（爐底安裝兩個散熱風扇），爐殼表面溫度低于60度

額定功率 1KW—8KW

常用爐膛尺寸 Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm, Φ120xH300mm   Φ300xH300mm         

四、溫控程序對應符號及其意義：

提示符 輸入數(shù)據(jù) 意義

C 01 0 起始溫度值

t 01 60 從0~300℃的升值時間為60分鐘

C 02 300 目標溫度值

t 02 10 300℃保溫時間10分鐘

C 03 300 第二個目標溫度值

t 03 240 從300~1500℃的升值時間為240分鐘

C 04 1500 第三個目標溫度值

t 04 30 1500℃恒溫時間10分鐘

C 05 1500 第四個目標溫度值

t 05 260 從1500~200℃的升值時間為260分鐘

C 06 200 第五個目標溫度值

t 06 －121 程序運行結束，自然降溫

五、常見故障及故障排除 

故障現(xiàn)象 故障原因 排除方法

打開控制電源開關Lock無電源指示 控制線路FU1 4A保險絲斷 檢查有無短路排除后更換保險絲

綠色Power指示燈滅，紅色Open circuit指示燈亮。 主電路FU2 32A保險絲斷 檢查有無短路排除后更換保險絲

電壓 大，無電流。 硅鉬棒斷裂 更換硅鉬棒

儀表SV交替顯示OraL 熱電偶斷路 更換熱電偶

儀表SV交替顯示HIAL 爐體超過上限溫度1700℃儀表起保護 溫度降至安全溫度后儀表自動恢復正常（檢查超溫原因）

電源及硅鉬棒都正常，但爐體不能升溫 控制線路損壞 通知專業(yè)維修人員。